研究院位于太原市第一实验室园区,太原市政府提供研发面积1万平方米,其中洁净实验室面积约5000平方米,包括薄膜电子先进研发平台和碳基集成电路小试线,包括了步进式光刻机、电子束曝光机、激光直写、刻蚀机等价值1亿元的大型研发设备。